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真空蒸镀加工的基本过程及其装置的构成
发布者:豪鑫真空蒸镀加工  点击:487

真空电镀加工是一种表现处理工艺,真空蒸镀加工也是,而且两者听起来是十分相似的,但实际上还是有差别的。从真空蒸镀加工的基本过程及其装置的构成就可以显而易见了。

 

所谓真空蒸镀加工,就是在充气阀和高真空阀等阀门全部都关闭的前提下,通过机械泵对钟罩进行预抽气;当压强达到一定后再关闭低真空阀,打开高真空阀,通过扩散泵和机械泵串联对钟罩进行抽气;一旦钟罩内的压强达到所需要的数值后,就可以对蒸发源加热进行蒸镀。

 

完成之后需要关闭高真空阀,并通道充气阀向钟罩内放气;然后打开钟罩,取出真空蒸镀加工好的基片或工件。随后重新装入膜料,更换待镀基片或工件,放下钟罩,再次进行蒸镀。

 

平时真空蒸镀加工所用的设备主要是由真空镀膜室和抽真空系统两大部分组成的,其中真空镀膜室是用不锈钢或玻璃制成的钟罩,以及蒸发电极、基片架、轰击电极、测温和烘烤电极、挡板转动装置、膜厚监控测量头和一些辅助装置等构成的。

 

而它的真空抽气系统中则包括了扩散泵、手械泵、高真空阀、低真空阀、充气阀及挡油板等部件,它们之间相互配合,共同完成相应的抽真空作业。真空蒸镀加工中真空抽气机组可使镀膜室内的压强达到较大的范围,以防镀膜室内高温物体的燃烧和膜的氧化等。

 

通过真空蒸镀加工后的工件,不仅表面质量有了很大的改善,其内在性能以及使用寿命都有了明显的提升,是非常理想的一种表现处理工艺。

 

 


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